El microscopio electrónico de barrido con detector de energía dispersiva
(SEM-EDS) permite obtener imágenes microscópicas de minerales, polen, y
tejido vegetal y animal. A través del detector EDS además se puede realizar
microanálisis (en un punto de 2 µm de tamaño) de elementos mayoritarios.
Además de imágenes de electrones secundarios (SEI) se puede obtener
imágenes de electrones retrodispersados (BSEI) los cuales informan sobre las
variaciones composicionales internas de la muestra.
Microsonda de electrones (EPMA)
Instrumentación
JEOL modelo JXA-8200 SuperProbe.
Configuración técnica
Se encuentra equipado con 4 espectrómetros WDS y uno EDS (Si(Li)).
Los espectrómetros WDS: 2 son normales de 4 cristales y detector de flujo,
y 2 de alta intensidad con 2 cristales y detector sellado de Xe).
Sistema de vacío con bomba turbomolecular y bomba iónica en el cañon
(posibilidad de operar con W o LaB6).
Detectores de electrones secundarios y retrodispersados,
detector de catodoluminiscencia.
Capacidad de análisis desde el B al U, imágenes compo, topo,
catodo y mapas de RX.
Aplicaciones
En el campo de ciencias de los materiales.
En geología, minería, metalografía,...
Control de procesos industriales - Control de calidad.